高速長行程12”標準機型光柵設計提升安全性符合國際半導體設備SEMI S2安全規范符合RoHS規范,潔凈度可達Class 1多種感測器偵測各項元件,即時監測設備狀態GUI介面軟體,可遠端操作指令,整合各裝置子系統,提供單一指令格式窗口
高速長行程12”標準機型
光柵設計提升安全性
符合國際半導體設備SEMI S2安全規范
符合RoHS規范,潔凈度可達Class 1
多種感測器偵測各項元件,即時監測設備狀態
GUI介面軟體,可遠端操作指令,整合各裝置子系統,提供單一指令格式窗口
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