12" Wafer , 12" Metal Carrier 標準機型上方盤面式電控箱設計通過國際半導體設備SEMI S2安全認證符合RoHS規范,潔凈度可達Class 1多種感測器偵測各項元件,即時監測設備狀態即時影像監控,條碼、標簽字元辨識,完整追蹤生產過程提供客制化晶圓或其他基板搬運需求
12" Wafer , 12" Metal Carrier 標準機型
上方盤面式電控箱設計
通過國際半導體設備SEMI S2安全認證
符合RoHS規范,潔凈度可達Class 1
多種感測器偵測各項元件,即時監測設備狀態
即時影像監控,條碼、標簽字元辨識,完整追蹤生產過程
提供客制化晶圓或其他基板搬運需求
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